Nidec三協液晶面板搬運機器人
Nidec三協液晶面板搬運機器人
母玻璃基板的薄膜處理、蒸鍍等工藝需要極高潔凈度的真空環境,因此,搬運母玻璃基板的機器人也必須具備能承受真空環境的性能。
在真空環境下工作的機器人,其各個關節都內置了密封裝置,以防止空氣和灰塵等從機器人的齒輪箱等內部逸出。但加裝密封裝置,通常下會導致可動關節自由度降低。為此,三協真空機器人采用了與減速機一體化的磁性密封件,可以將密封件的使用數量控制在最小范圍,確保了與大氣環境版同等的自由度。為了滿足顯示面板廠家的需求,產品線包括回旋鏢式和SCARA式兩種臂型,兩種臂型采用的是可以通用的單元,有效地控制了成本。
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